工作职责:
1、负责MOCVD设备的日常运转监控与维护管理;
2、编制并落实预防性维护方案;
3、跟踪核心部件运行状态,及时开展更换与保养;
4、监控并调节设备工艺参数,完成故障诊断与处理;
5、制定故障应对流程及应急措施,分析故障成因,提出优化建议;
6、承担MO源及特种气体管路系统的维护,监管气体纯化系统运行与维保;
7、执行气体流量控制装置的校验与维护工作;
8、负责尾气处理系统的日常运维;
9、参与设备升级方案的评估与落地实施;
10、协同工艺需求推进设备改造项目;
11、优化设备运行参数,落实安全操作规范,排查并整改安全隐患;
12、管理特种气体使用过程中的安全事项;
任职资格:
1、本科及以上学历,材料科学、机械工程或相关专业;
2、具备3-5年MOCVD设备维保经验,有HBT、pHEMT外延设备维护背景者优先;
3、掌握MOCVD设备机械与电气结构,熟悉特种气体系统原理及维护标准;
4、精通真空系统维护与故障判断,了解温控及测温系统运作机制;
5、具备基础工艺理解能力,能把握工艺参数对设备的影响要求;
6、熟悉设备自动控制系统的操作与应用;
【工作内容】负责MOCVD设备的日常运转监控与维护管理;编制并落实预防性维护方案;跟踪核心部件运行状态,及时开展更换与保养;监控并调节设备工艺参数,完成故障诊断与处理;制定故障应对流程及应急措施,分析故障成因,提出优化建议;承担MO源及特种气体管路系统的维护,监管气体纯化系统运行与维保;执行气体流量控制装置的校验与维护工作;负责尾气处理系统的日常运维;参与设备升级方案的评估与落地实施;协同工艺需求推进设备改造项目;优化设备运行参数,落实安全操作规范,排查并整改安全隐患;管理特种气体使用过程中的安全事项;
【基本条件】本科及以上学历,材料科学、机械工程或相关专业;具备3-5年MOCVD设备维保经验,有HBT、pHEMT外延设备维护背景者优先;掌握MOCVD设备机械与电气结构,熟悉特种气体系统原理及维护标准;精通真空系统维护与故障判断,了解温控及测温系统运作机制;具备基础工艺理解能力,能把握工艺参数对设备的影响要求;熟悉设备自动控制系统的操作与应用;