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上海大学MEMS辐射传感测试系统的中标（成交）结果公告
来源：中国政府采购网2026-10-15
中国科学院地质与地球物理研究所高温MEMS加速度计半导体器件探针测试系统采购项目更正公告
来源：中国政府采购网2026-09-14
中国科学院地质与地球物理研究所高温MEMS加速度计半导体器件探针测试系统采购项目竞争性磋商
来源：中国政府采购网2026-09-04
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