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中国科学院微电子研究所原子层刻蚀机采购项目公开招标公告
中国科学院微电子研究所
2026-05-27
来源：中国政府采购网
招标公告
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中国科学院微电子研究所深腔刻蚀机采购项目公开招标公告
中国科学院微电子研究所
2026-05-27
来源：中国政府采购网
招标公告
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中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购项目更正公告
中国科学院物理研究所
2026-05-20
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
半导体刻蚀
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等离子体
中国科学院物理研究所反应等离子体刻蚀系统（RIE）采购项目公开招标公告
中国科学院物理研究所
2026-05-13
来源：中国政府采购网
招标公告
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半导体刻蚀
刻蚀工艺
等离子体
北京师范大学高真空磁控溅射和刻蚀系统采购项目中标公告
北京师范大学
2026-04-17
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
半导体刻蚀
磁控溅射
刻蚀工艺
北京师范大学高真空磁控溅射和刻蚀系统采购项目公开招标公告
北京师范大学
2026-03-27
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
招标
半导体刻蚀
磁控溅射
刻蚀工艺
北京理工大学超低损伤刻蚀机采购中标公告
北京理工大学
2025-12-30
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
半导体设备
刻蚀机
半导体刻蚀
刻蚀工艺
中国科学院半导体研究所介质层电感耦合等离子体刻蚀系统采购项目中标公告
中国科学院半导体研究所
2025-12-22
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
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集成电路
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半导体器件
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等离子体
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中国科学院半导体研究所RIE刻蚀机采购项目中标公告
中国科学院半导体研究所
2025-12-22
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
半导体
集成电路
电子设备
半导体设备
半导体器件
刻蚀机
半导体刻蚀
电子元件
刻蚀工艺
电子
中国科学院半导体研究所RIE刻蚀机采购项目澄清公告
中国科学院半导体研究所
2025-12-19
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
半导体
集成电路
电子设备
半导体设备
半导体器件
刻蚀机
半导体刻蚀
电子元件
刻蚀工艺
电子
中国科学院高能物理研究所大面积离子束刻蚀机采购项目中标公告
中国科学院高能物理研究所
2025-12-17
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
半导体设备
刻蚀机
半导体刻蚀
刻蚀工艺
北京科技大学先进制程非硅新材料干法刻蚀系统采购项目中标公告
北京科技大学
2025-12-10
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
新材料
半导体刻蚀
刻蚀工艺
先进制程
北京理工大学感应耦合等离子体刻蚀机采购中标公告
北京理工大学
2025-12-05
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
半导体设备
刻蚀机
半导体刻蚀
刻蚀工艺
等离子体
中国科学院半导体研究所RIE刻蚀机采购项目公开招标公告
中国科学院半导体研究所
2025-12-01
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
半导体
集成电路
电子设备
半导体设备
招标
半导体器件
刻蚀机
半导体刻蚀
电子元件
刻蚀工艺
电子
中国科学院物理研究所精密离子束镀膜刻蚀仪采购项目中标公告
中国科学院物理研究所
2025-11-28
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
镀膜
半导体刻蚀
刻蚀工艺
镀膜工艺
镀膜技术
中国科学院半导体研究所介质层电感耦合等离子体刻蚀系统采购项目公开招标公告
中国科学院半导体研究所
2025-11-28
来源：中国政府采购网
招标公告
电感
研究院/研究所
半导体
集成电路
电子设备
招标
半导体器件
半导体刻蚀
电子元件
被动器件电感
刻蚀工艺
等离子体
电子
北京科技大学先进制程非硅新材料干法刻蚀系统采购项目公开招标公告
北京科技大学
2025-11-19
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
新材料
招标
半导体刻蚀
刻蚀工艺
先进制程
北京理工大学感应耦合等离子体刻蚀机采购公开招标公告
北京理工大学
2025-11-14
来源：中国政府采购网
招标公告
大学
半导体设备
招标
刻蚀机
半导体刻蚀
刻蚀工艺
等离子体
中国科学院高能物理研究所介质薄膜沉积及刻蚀系统采购项目中标公告
中国科学院高能物理研究所
2025-11-10
来源：中国政府采购网
招标公告
研究院/研究所
薄膜
半导体刻蚀
薄膜沉积
刻蚀工艺
薄膜技术
中国科学院物理研究所精密离子束镀膜刻蚀仪采购项目公开招标公告
中国科学院物理研究所
2025-11-04
来源：中国政府采购网
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