PECVD招投标采购信息

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清华大学等离子体增强化学增强气相淀积（PECVD单腔）采购项目中标公告

清华大学

2026-07-08 来源：中国政府采购网招标公告

大学化工/化学 PECVD 等离子体

清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD) 采购项目公开招标公告

清华大学

2026-07-07 来源：中国政府采购网招标公告

大学化工/化学招标电子元件电感 PECVD 化学气相沉积被动器件电感等离子体 CVD

等离子体增强化学气相沉积设备采购项目招标公告

深圳国际量子研究院

2026-06-01 来源：中国政府采购网招标公告

化工/化学招标 PECVD 化学气相沉积气相沉积设备化学气相沉积设备设备采购等离子体设备

常州大学集成电路产教融合创新平台-等离子体增强化学气相沉积采购项目采购公告(二)

常州大学

2026-05-25 来源：中国政府采购网招标公告

大学化工/化学半导体芯片集成电路电子元件 PECVD 化学气相沉积电子技术创新服务产教融合等离子体电子

常州大学集成电路产教融合创新平台-等离子体增强化学气相沉积采购项目废标(终止)公告

2026-05-21 来源：中国政府采购网招标公告

大学化工/化学半导体芯片集成电路电子元件 PECVD 化学气相沉积电子技术创新服务产教融合等离子体电子

常州大学集成电路产教融合创新平台-等离子体增强化学气相沉积采购项目更正公告

常州大学

2026-05-07 来源：中国政府采购网招标公告

大学化工/化学半导体芯片集成电路电子元件 PECVD 化学气相沉积电子技术创新服务产教融合等离子体电子

中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目中标公告

中国科学院半导体研究所

2026-03-24 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所化工/化学半导体集成电路电子设备半导体器件电子元件 PECVD 化学气相沉积等离子体电子

PECVD和磁控溅射系统中标公告

深圳技术大学

2026-03-17 来源：中国政府采购网招标公告

PECVD 磁控溅射

中国科学院半导体研究所等离子体增强化学气相沉积系统采购项目公开招标公告

中国科学院半导体研究所

2026-02-26 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所化工/化学半导体集成电路电子设备招标半导体器件电子元件 PECVD 化学气相沉积等离子体电子

PECVD和磁控溅射系统废标公告

2026-02-02 来源：中国政府采购网招标公告

PECVD 磁控溅射

PECVD和磁控溅射系统招标公告

深圳技术大学

2026-01-21 来源：中国政府采购网招标公告

招标 PECVD 磁控溅射

东南大学微纳系统国际创新中心PECVD工艺配套系统采购中标公告

东南大学

2026-01-16 来源：中国政府采购网招标公告

大学 PECVD 创新服务

中国电子科技集团公司第十三研究所等离子体增强化学气相沉积台采购项目招标公告

2025-12-25 来源：全国公共资源交易平台招标公告

研究院/研究所化工/化学招标 PECVD 化学气相沉积电子技术等离子体电子

东南大学微纳系统国际创新中心PECVD工艺配套系统采购公开招标公告

东南大学

2025-12-25 来源：中国政府采购网招标公告

大学招标 PECVD 创新服务

zycgr22011903等离子体增强化学气相沉积(PECVD)（第二次）中标公告

zycgr22011903

2025-12-19 来源：中国政府采购网招标公告

化工/化学 PECVD 化学气相沉积等离子体

zycgr22011903等离子体增强化学气相沉积(PECVD)（第二次）公开招标公告

zycgr22011903

2025-11-26 来源：中国政府采购网招标公告

化工/化学招标 PECVD 化学气相沉积等离子体

zycgr22011903等离子体增强化学气相沉积(PECVD)终止公告

zycgr22011903

2025-11-25 来源：中国政府采购网招标公告

化工/化学 PECVD 化学气相沉积等离子体

深圳职业技术大学双室高真空双频PECVD采购中标（成交）结果公告

深圳职业技术大学

2025-11-07 来源：中国政府采购网招标公告

大学 PECVD

zycgr2107130212寸PECVD设备流标公告

zycgr21071302

2025-11-07 来源：中国政府采购网招标公告

设备 PECVD

某实验室低气压等离子体增强化学气相沉积系统采购需求征集公告

zycgr21070801

2025-11-07 来源：中国政府采购网招标公告

化工/化学 PECVD 化学气相沉积等离子体