集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备
2024.11.05,金石投资,招商致远资本,金信资本,鼎青投资,河南资产
2019.11.14,浦东科投,海風投资,上海同祺
说明:依据网络公开报道数据收集而来,仅供参考。