西安荏原精密机械有限公司成立于2013年， 由(株)韩国EBARA精密机械投资，母公司为日本荏原制作所，主营真空泵的生产与销售自产产品，半导体零部件，太阳能电池板、发光二极管（LED）相关设备的批发；真空泵、化学机械平坦化装置（CMP）相关设备的进出口、批发、佣金代理（拍卖除外）及相关的维修服务。
西安EBARA是和三星电子一同投资的17个公司中的一个,主要给三星电子提供真空泵和CMP相关的产品及运营服务，西安EBARA致力于为三星及西安的经济发展做好服务。
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