专业从事新型离子源关键技术研发及整机装备设计和制造
2024.09.10,芯动能投资,季华璀璨
2022.10.14,中芯聚源
2021.11.18,建信信托
2019.11.20,国民创投,粤科金融
说明:依据网络公开报道数据收集而来,仅供参考。