北京烁科中科信电子装备有限公司成立于2019年6月,以中电48所和北京中科信离子注入机业务战略整合而成,是国内集成电路高端工艺装备的企业。公司总部位于北京市通州区光机电一体化产业基地,在长沙设有分公司。
公司产品聚焦集成电路主要应用领域,兼顾化合物半导体、材料加工制备等领域,形成中束流、大束流、高能机、特种、化合物半导体等系列化离子注入机产品体系。
长沙分公司主要负责化合物半导体离子注入机及特种离子注入机相关业务,目前产品主要有SiC用高温高能离子注入机、特种应用离子注入机(如材料剥离用离子注入机、量子研究用离子注入机);并同时为行业内用户提供各种定制机型及零备件服务。
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