ETA-Semitech是一家致力于宽禁带半导体制程设备研发、生产、销售的综合性科技公司,其控股公司一塔半导体(安徽)有限公司位于合肥市,产研基地坐落于合肥市经济技术开发区和湖州市莫干山高新技术产业开发区。创始人及核心团队合作多年,具有多年自动化设备创业经验及上市公司管理经验。
ETA-Semitech致力于半导体制程设备研发,已成功研发外延生长系统(MOCVD)和退火系统(激光退火/RTP),公司拥有多项技术方案,包括自主创新SiC/GaN外延生长方案,快速热处理(RTA)、热氧化(RTO)、热氮化(RTN)、离子注入退火、金属合金、功率芯片背面激光退火等解决方案。持有69项技术和软件著作,包括闭环温度控制系统和惰性气体屏障技术。
ETA-Semitech将持续增加研发投入,致力于涵盖前道工艺的制程设备,努力成为中国版“应用材料”公司。
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