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中国科学院高能物理研究所快速直写光刻机采购项目中标公告
来源：中国政府采购网2026-09-20
北京大学微米纳米加工技术全国重点实验室KrF步进式光刻机采购项目（第二次）废标公告
上海大学光刻机物镜小磨头抛光装备采购的竞争性磋商公告
来源：全国公共资源交易平台2026-09-18
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