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常州大学紫外接近接触式光刻机采购项目采购公告（二）
来源：中国政府采购网2026-08-26
中国科学院高能物理研究所快速直写光刻机采购项目公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-08-24
北京大学微米纳米加工技术全国重点实验室KrF步进式光刻机采购项目废标公告
来源：中国政府采购网2026-08-21
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