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中国科学院上海微系统与信息技术研究所高温快速退火炉（国际招标）公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-09-03
中国科学院上海微系统与信息技术研究所激光退火炉（重新招标）公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-07-30
新兴交叉学科大楼（一期）项目（设备部分）退火炉与原子层沉积设备采购项目招标公告
来源：中国政府采购网2026-07-29
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