上海刻蚀工艺招投标采购信息

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中国科学院上海光学精密机械研究所前道工艺设备（干法刻蚀-薄膜沉积工艺）采购项目单一来源公示

中国科学院上海光学精密机械研究所

2026-09-30 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所光学薄膜半导体刻蚀精密机械零部件精密机械薄膜沉积刻蚀工艺设备工艺设备

中国科学院上海光学精密机械研究所连续相位板（CPP）刻蚀加工终止公告

中国科学院上海光学精密机械研究所

2026-09-29 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所光学半导体刻蚀精密机械零部件精密机械刻蚀工艺加工

中国科学院上海光学精密机械研究所连续相位板（CPP）刻蚀加工公开招标公告

中国科学院上海光学精密机械研究所

2026-09-24 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所光学招标半导体刻蚀精密机械零部件精密机械刻蚀工艺加工

中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目成交公告

中国科学院上海技术物理研究所

2026-09-16 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体刻蚀刻蚀工艺

zycgr22011903离子束刻蚀机采购招标项目中标公告

zycgr22011903

2026-09-10 来源：中国政府采购网招标公告

半导体设备招标刻蚀机半导体刻蚀刻蚀工艺

离子束刻蚀机采购招标项目公开招标公告

zycgr22011903

2026-08-17 来源：中国政府采购网招标公告

半导体设备招标刻蚀机半导体刻蚀刻蚀工艺

中国科学院上海微系统与信息技术研究所聚焦离子束刻蚀系统（国际招标）中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-08-04 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标半导体刻蚀聚焦离子束刻蚀工艺国际招标微系统

中国科学院上海光学精密机械研究所前道工艺设备（干法刻蚀-薄膜沉积工艺）采购项目流标公告

中国科学院上海光学精密机械研究所

2026-08-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所光学薄膜半导体刻蚀精密机械零部件精密机械薄膜沉积刻蚀工艺设备工艺设备

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆干法深硅刻蚀机中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-07-31 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体设备刻蚀机半导体刻蚀晶圆半导体硅晶片刻蚀工艺半导体晶圆微系统

中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目终止公告

中国科学院上海技术物理研究所

2026-07-29 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体刻蚀刻蚀工艺

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆干法深硅刻蚀机公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-07-08 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体设备招标刻蚀机半导体刻蚀晶圆半导体硅晶片刻蚀工艺半导体晶圆微系统

中国科学院上海技术物理研究所低温超深宽比反应离子刻蚀系统采购项目公开招标公告

中国科学院上海技术物理研究所

2026-07-08 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标半导体刻蚀刻蚀工艺

中国科学院上海微系统与信息技术研究所聚焦离子束刻蚀系统（国际招标）重新招标公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-07-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标半导体刻蚀聚焦离子束刻蚀工艺国际招标微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所聚焦离子束刻蚀系统（国际招标）重新招标澄清或变更公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-07-02 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标半导体刻蚀聚焦离子束刻蚀工艺国际招标微系统

上海科技大学反应离子刻蚀机国际公开招标公告

上海科技大学

2026-06-30 来源：中国政府采购网招标公告

大学半导体设备招标刻蚀机半导体刻蚀刻蚀工艺海洋科技/技术

上海交通大学纳米刻蚀与力学测试系统国际公开招标中标公告

上海交通大学

2026-06-17 来源：中国政府采购网招标公告

大学交通招标半导体刻蚀交通运输刻蚀工艺测试系统

上海交通大学纳米刻蚀与力学测试系统国际公开招标公告

上海交通大学

2026-05-21 来源：中国政府采购网招标公告

大学交通招标半导体刻蚀交通运输刻蚀工艺测试系统

中国科学院上海光学精密机械研究所430BSG取样光栅刻蚀研制单一来源成交公告

中国科学院上海光学精密机械研究所

2026-04-07 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所光学安全光栅半导体刻蚀精密机械零部件精密机械刻蚀工艺光栅

中国科学院上海微系统与信息技术研究所高垂直度深硅刻蚀机中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-01-23 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体设备刻蚀机半导体刻蚀刻蚀工艺微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束刻蚀单元中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-01-21 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体刻蚀刻蚀工艺微系统