上海微系统招投标采购信息

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所气流与运动采集仪中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-22 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所激光退火炉中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-21 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所退火炉激光台车式退火炉激光技术微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所动态干涉仪采购项目询价公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-21 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所干涉仪微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所镀层厚度测试仪（Ag含量测试仪）采购项目中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-15 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所测试仪器厚度测试仪参数测试仪器测试仪微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆化学机械抛光机采购项目中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-15 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所化工/化学抛光机抛光设备化学机械抛光机晶圆半导体硅晶片地面抛光机表面处理抛光化学机械抛光半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆贴片机（C2W）采购项目中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-15 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所贴片机 SMT贴片机晶圆半导体硅晶片半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所真空压膜机采购项目终止公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-14 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆几何参数量测仪公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-10 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标晶圆半导体硅晶片半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所无图型晶圆缺陷检测设备公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-10 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所检测招标检测设备晶圆缺陷检测晶圆检测设备晶圆半导体硅晶片检验设备缺陷检测半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所稀释制冷机公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-07 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标制冷制冷设备制冷工程微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所小型稀释制冷机公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-07 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标制冷制冷设备制冷工程微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆临时键合机终止公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体封装设备键合机晶圆半导体硅晶片半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆激光解键合机终止公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所半导体封装设备键合机激光晶圆半导体硅晶片激光技术半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所晶圆边缘切削机公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标晶圆半导体硅晶片半导体晶圆微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所底填胶机台公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所高温快速退火炉（国际招标）公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-03 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标退火炉台车式退火炉国际招标微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所热阻瞬态测试仪（国际招标）中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-09-01 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标测试仪器参数测试仪器测试仪国际招标微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所气流与运动采集仪公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-08-27 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所招标微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所等离子体增强化学沉积中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-08-25 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所化工/化学等离子体微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所磁控溅射PVD中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2026-08-25 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所物理气相沉积磁控溅射 PVD 微系统