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招投标行业报告

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统（国际招标）中标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2025-12-23 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所微机电系统招标晶圆半导体硅晶片 MEMS 国际招标半导体光刻光刻半导体晶圆光刻技术微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统（国际招标）重新招标公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2025-11-27 来源：中国政府采购网招标公告

光刻晶圆研究院/研究所微机电系统招标半导体硅晶片 MEMS 国际招标半导体光刻半导体晶圆光刻技术微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统（国际招标）重新招标澄清或变更公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2025-11-26 来源：中国政府采购网招标公告

光刻晶圆研究院/研究所微机电系统招标半导体硅晶片 MEMS 国际招标半导体光刻半导体晶圆光刻技术微系统

中国科学院上海微系统与信息技术研究所MEMS晶圆双面对准与光刻系统（国际招标）公开招标公告

中国科学院上海微系统与信息技术研究所

2025-11-18 来源：中国政府采购网招标公告

研究院/研究所微机电系统招标晶圆半导体硅晶片 MEMS 国际招标半导体光刻光刻半导体晶圆光刻技术微系统

MEMS传感器真空键合系统的竞争性磋商公告

2025-09-17 来源：全国公共资源交易平台采购信息

传感器微机电系统 MEMS传感器电子元件 MEMS 电子传感器

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