直接成像设备及直写光刻设备的研发和生产
2026.06.01，合肥建投资本，芯耀投资，晶合集成，摩根大通，胜宏科技，CPE Chestnut，Lion Global，CICC FT，高瓴资本，Huadeng Victorious，澜起科技，永联投资，Monterey Park，博时国际，汇添富资本，富国基金，广发基金，通富微电，阳光电源
2023.08.01，诺德基金，国泰海通，中安资本，汇添富资本，瑞银集团，招商证券，华泰投资，蓝海国投，个人投资者
2021.06.01，海通开元
2021.04.01，上交所
说明：依据网络公开报道数据收集而来，仅供参考。
