公司专注于物理气相沉积(PVD)机台、等离子干法刻蚀(ETCH)机台、化学气相沉积(CVD)设备等主流半导体制造设备的再制造、再开发、改造及其核心部件的研发、生产和销售,并向客户提供长期的技术支持。目前,公司同中芯国际、华润微电子、积塔半导体、台积电、联合微电子、捷捷微电子、扬杰电子等国际和国内知名的半导体芯片制造商保持密切的业务往来,并和多个国内研究所有技术合作,共同开发特殊半导体制造工艺。
公司自2020年开始,自主研发兼容6/8英寸的IGBT、SiC、GaN等三代半导体工艺设备,在吸收国内国外PVD工艺设备的基础上,结合自身多年的设备开发和维护经验,针对国内对功率器件的强烈需求,已经研发成功国产原型机(HappyOne),替代目前国外设备,已经有多家客户有合作开发工艺的意向,有设备已销售至客户处做工艺测试,新设备瞄准积塔半导体、中芯国际、捷捷微电等以车载电子,功率器件为主的目标客户。
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