半导体纳米级制版光刻设备制造商
2025.03.03,宝馨科技
2020.09.01,北京亦庄战略新兴产业基金
2017.03.01,博硕股权投资
2015.03.01,中科院微电子,晨熹资本,金浦投资,毅达资本,厦门半导体投资集团,润创投资,金雨茂物,昊嘉财富
说明:依据网络公开报道数据收集而来,仅供参考。