先进功能薄膜MEMS传感器
2026.03.05,凯莱瑞投资,渤信资本
2023.06.01,明道投资,渤信资本,创钰投资
2022.07.01,合肥高投,国科新能创投,顺为资本
说明:依据网络公开报道数据收集而来,仅供参考。