我公司致力于真空应用技术的开发与产业化推广,在PVD(磁控溅射、有机及金属共蒸发、离子镀、RPD反应离子沉积等)、CVD(PECVD、LPCVD等)和ALD原子层沉积等真空镀膜设备上拥有先进技术和高端装备制造经验,形成工艺研究设备、规模化产线设备系列化产品,广泛应用于光伏、半导体、显示、纳米科技、化工、制药等领域,并拥有GW级光伏电池产线核心技术和设备制造经验。
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