上海 浦东新区 No.3 真空应用设备 No.5 真空设备 No.6 电池制造/生产 No.10 化学气相沉积 No.10 显示单元 No.14 光伏电池 No.17 等离子体 No.17 太阳能电池 No.21 高端装备 No.24 薄膜 No.26 显示设备 No.27 半导体设备 高新技术企业 市级科技进步奖 科技进步奖 瞪羚企业 省级专精特新中小企业 市级专精特新中小企业 省级高新技术企业 市级高新技术企业 省级创新型中小企业 制造业单项冠军 专精特新小巨人企业