本所（*）自开发RTP 快速退火系列产品以来已逾三十年，现今在中国的高校，研究所的半导体材料相关院，系的市场占有率超过80%。特别是清华，北大，浙大等重点大学，中科院半导体所这样的国家重点科研单位，更拥有很多部RTP 系列设备。在国际性学术刊物上发表的论文也有提到RTP 系列产品。是国际上可制造1600度以上RTP设备的三家企业之一。
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