ALD镀膜解决方案提供商
2025.12.24，国开科创，国调基金，招银国际，中银投资，光谷金控
2025.11.27，国调基金
2024.05.30，青松资本，中金资本，中车四方所，中车资本，石溪资本，千帆资本
2024.03.01，尚颀资本，鼎晖投资，招商局创投，金浦投资，新鼎资本，创新工场，华控基金，青创投资，海松资本，同歌创投，海澳芯科，鑫芯创投，珩创投资，上汽集团
2024.02.01，上汽投资，尚颀资本，鼎晖投资，招商局创投，金浦投资，新鼎资本，创新工场，华控基金，青创投，海松资本，海澳芯科，鑫芯创投，珩创投资，同歌创投
2024.01.04，尚颀资本，鼎荣资本
2023.06.01，澳柯玛投资
2022.11.01，中车资本，石溪资本，鑫芯创投，海松资本，澳柯玛投资，同歌创投，千帆资本，君桐资本，珩创投资，三鑫资产，中金资本，渡越资本
2019.08.01，中车资本，中国中车
说明：依据网络公开报道数据收集而来，仅供参考。
