北京理工大学重庆微电子研究院围绕国家对集成电路与微纳技术领域的重大需求，依托北京理工大学在微纳制造、MEMS、3D集成、集成电路设计、微纳系统集成、量子材料、太赫兹技术等方向的雄厚研究基础，在重庆市的集成电路产业中心-西永微电子产业园建立了一个先进的MEMS/NEMS微纳制造工艺平台，并在此平台上开展以下研究方向：
1. 新工艺，新材料：开发MEMS/NEMS新工艺，研制硅基半导体材料和量子材料，开发二维量子结构生长、CMOS-MEMS集成、三维异质异构集成等先进工艺。
2. 新型MEMS/NEMS传感器：开发声光热惯性传感器，如pMUT、陀螺仪、非制冷红外FPA、基于二维材料的长波红外光电探测器等。
3. 新型MEMS执行器：基于静电、电热、压电、电磁等驱动原理，开发MEMS光开关、OXC、数字微镜阵列、内窥专用MEMS微镜、激光雷达专用MEMS微镜、微型扬声器、微型机器人、可调谐超表面结构等。
4. MEMS器件的专用数模混合集成电路设计。
5. 硅基高速片上集成电路设计：重点突破面向导航的S波段芯片、K频段及毫米波核心芯片、专用SOC芯片等。
6. 太赫兹关键技术：重点研制太赫兹集成成像芯片和MEMS调谐太赫兹器件。
7. 轻量化微型化声光电测量系统：研制微型激光雷达、微型红外光谱仪、内窥成像系统等。
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