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先导基电：全资子公司拟1.5亿元转让中晶智芯10%的出资份额#新闻#2026-09-03
中微公司：预计2026年上半年净利润同比增282.48%到310.81%#新闻#2026-08-03
中微公司：拟参与设立私募投资基金，认缴出资不超14.7亿元#新闻#2026-06-30
中微半导体设备（上海）股份有限公司获得定向增发逾82亿人民币#融资#2026-06-25
日扬电子科技（上海）有限公司获得并购1.89亿人民币#融资#2026-05-01
上海陛通半导体能源科技股份有限公司获得战略投资5亿人民币#融资#2023-11-23
高功率磁控溅射复合薄膜沉积平台公开招标公告
来源：中国政府采购网2026-09-30
中国科学院上海光学精密机械研究所前道工艺设备（干法刻蚀-薄膜沉积工艺）采购项目单一来源公示
哈尔滨工程大学高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购及服务成交公告
来源：中国政府采购网2026-09-24
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