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高功率磁控溅射复合薄膜沉积平台公开招标公告
来源:中国政府采购网2026-09-30
中国科学院上海光学精密机械研究所前道工艺设备(干法刻蚀-薄膜沉积工艺)采购项目单一来源公示
哈尔滨工程大学高真空磁控溅射薄膜沉积系统采购及服务成交公告
来源:中国政府采购网2026-09-24
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