上海芯刻微材料技术有限责任公司是上海新阳(300236)的全资子公司，致力于高端光刻胶产品及配套试剂的研发和产业化，打破国外垄断，为IC制造行业提供质优价平的光刻材料解决方案。
上海芯刻微成立于2018年5月，注册资本1亿人民币，项目总投资2亿人民币，其中固定资产投资约1.3亿元。现已建成200平米洁净实验室和500平米中试生产车间。
公司创始之初就高起点地研发分辨率90nm以下的ArF干法光刻胶。现有实验室样品自测性能已经达到客户65/55nm节点关键层对工艺窗口的要求，上海芯刻微更将进一步加强自己的研发实力，把研发方向拓展到I-line胶、KrF胶、Spin-On Carbon等多种类的光刻胶及配套试剂。依托上海新阳的资金、品牌和资源优势，上海芯刻微决心打造成为*的高端光刻材料供应商。
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