武汉承远电子科技有限公司是一家以等离子体电源系统设计、研制为核心,致力于为半导体与工业镀膜领域提供射频电源、自动匹配器、RPS解决方案提供商。承远电子科技汇聚了一批在等离子体电源及真空零部件行业拥有丰富经验的专业化团队,集研发、生产、销售和服务为一体,为客户提供定制化服务和产品。已形成工业级射频电源及匹配器、半导体级全数字化射频电源、高精度自动匹配器、大功率高性能射频离子源等产品系列,电源及匹配器生产能力达上万套/年。产品应用对象包括:刻蚀、RIE、PECVD、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统,也可作为工厂业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。公司自2018年起专注于射频电源系统的研制开发,攻关了多项射频电源设计的技术瓶颈,引进国外射频电源高新技术,打造了国内先进的射频电源和自动匹配器。2022年,凭借着深厚的技术积累以及对品质苛刻的要求,公司产品通过半导体龙头行业的合格验收,成功向国内优秀的半导体设备厂商批量交付产品,实现了国产射频电源在高端半导体设备应用的新的突破。公司生产的自动匹配器,现已成功应用于半导体,等离子清洗和磁控溅射等领域,能够配国内电子管射频电源和国外电源。目前公司产品技术交付数量在国内射频电源领域处于头部地位,逐步实现了国产半导体重大装备核心零部件国产化。未来,我们将持续以先进的技术作为企业发展的源动力,坚持创新驱动、科技向善,国内射频技术高质量发展。公司坚持科技创新、人才发展,在核心技术领域内拥有一支经验丰富的团队,拥有 30 年射频研发经验的技术团队,技术能力涵盖射频设计、FPGA 设计、单板设计、核算软件算法技术、嵌入式软硬件设计等核心技术领域广泛吸纳、沉淀出一批尖端技术人才。
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