泛腾半导体技术有限公司成立于 2010 年 2 月,总部位于上海,在成都、 常州设有研发中心与制造基地。公司长期专注于为半导体及泛半导体整机厂商提供国产化精密运动控制系统、纳米超精密运动台、晶圆传输设备等半导体设备及关键零部件的产品和解决方案。
公司自主研发的超精密运动控制系统,直驱定位(Direct-Drive)运动台产品(MICRODD系列微小型产品与CUBE DDR系列精密直驱转台)具有国际先进的技术,产品的综合指标已达到国际水平,并支持各种机械或气浮式单轴与多轴运动台的定制化开发。同时泛腾深耕光学检测与微纳米级运动控制技术的结合,为半导体生产、制造、检测平台提供一体化解决方案。
泛腾在半导体关键零部件和设备自主可控的道路上持续发力,实现关键技术的不断突破,为国内半导体及泛半导体行业供应链安全提供有力保障。
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