佛仪科技(佛山)有限公司

佛仪科技（佛山）有限公司成立于2019年2月，是季华实验室科研成果转化和产业化的载体之一，主要从事半导体装备及关键零部件研发、制造和销售。公司创始团队成员来自新加坡和美国，曾在国际知名半导体制造商担任高级研发负责人，具有近30多年的半导体装备及关键零部件研制及企业管理经验。目前，公司已聚集了一批以广东特支计划科技创新*人才为核心的、团结高效的研发人才，旨在打造半导体设备关键零部件行业领航企业。公司CVD、PVD、曝光机等装备产品，400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHz大功率射频电源及2.45GHz微波电源等装备零部件产品已批量销售，获得资本市场青睐，完成了A轮融资。

技术优势
公司自主研发的半导体设备关键零部件，包括集成电路装备专用大功率射频电源/微波电源、远程等离子源、薄膜真空计、蝶阀等，在国内属于领先开发梯队，瞄准半导体先进制程，实现了核心技术突破，填补了国内空白。
公司掌握的射频电源技术，是新一代电源的创新设计，能显著改善电源性能，提升相关装备的工艺水平，在国内处于领先水平，并且比肩国际先进水平。

发展概况
2019年2月，佛仪科技注册成立。
2019年9月，佛仪科技首次参与广东省重点领域研发计划项目《SiC新型器件的关键技术研究及应用》。
2020年4月，佛仪科技首套氧化炉真空系统出货。
2020年10月，佛仪科技参与广东省重点领域研发计划项目《半导体设备用低温泵研发》。
2021年7月，佛仪科技首套高能电子衍射原位监控气相沉积系统出货。
2021年9月，佛仪科技自主研发的大功率微波电源开始小批量出货。
2022年10月，佛仪科技自主研发的400KHz、2MHz、60MHz射频电源完成测试与机台验证。
2023年1月，佛仪科技自主研发的薄膜真空压力计产品通过验证，正式上市推广。
2023年12月，佛仪科技营收突破2800万元，进入规上企业行列。
2024年3月，佛仪科技27.12MHz射频电源和远程等离子体源样机开发完成，开始机台及产线验证。
2024年6月，佛仪科技完成天使轮融资。
2024年12月，佛仪科技完成A轮融资。
2025年3月，佛仪科技产业化一期场地装修完成，入驻季华实验室孵化器。

荣誉资质
微波电源荣获第二十二届中国国际高新技术成果交易会“优秀产品”；
大功率低频电源、射频电源、高频脉冲射频电源荣获2021年中国国际光电博览会“金奖”；
高性能电容薄膜真空计系统研发与产业化项目在*届粤港澳大湾区博士博士后创新创业大赛中荣获创新赛“银奖”；
2024年粤港澳大湾区高价值专利培育布局大赛优秀奖；
2024第二届佛山高价值专利成果转移转化大赛银奖。