淄博高新技术产业开发区MEMS研究院(以下简称“MEMS研究院”) 是由清华大学与淄博高新区管委会于2010年共建的研究院,是拥有独立法人机构的全额事业单位,是国内*家微机电制造领域的校地共建研究院,是全国微纳制造、器件与系统协同创新中心成员单位。
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