合肥中科光源科技有限公司是以光谱辐射信息技术为核心，专注于半导体温控，服务于国内半导体装备企业、晶圆制造企业的科技型公司。团队成员由中国科学技术大学热科学与能源工程前沿理论研究学者、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所研究学者、国内外半导体行业工艺专家等多学科、多背景科技型人才构成，是“科大硅谷”首批B类高层次人才团队。
半导体氧化、光刻、沉积、离子注入等数多道工序，都在特定温度下进行，温度漂移可导致薄膜应力不均、影响良率。温度测控等关键零部件目前仍依赖进口，是被卡脖子技术难点。
中科光源开发的单色红外测温仪已成功通过多家半导体设备厂商测试，并在PLD、PECVD和ALD多种设备上使用。另与多家国内半导体装备制造龙头企业建立研发合作关系，力求在非接触测温领域实现核心技术突破，成为半导体领域温度测控装置开拓者。
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