【总结】荧光光纤温度检测设备供应商
成立:2016年10月18日在上海注册成立。注册1415万元人民币。高新技术企业,市“专精特新”企业。 目前团队300+人。
研发团队和知识产权:研发团队60+人;自有知识产权体系(已申请专利57件(其中发明专利26项),已获授权35项(其中中国发明专利7项,美国专利1项)。
产品:设备关键零部件-刻蚀机专用荧光光纤温度传感器、高精度温度传感器探头、扩散炉管Inner TC,温湿度传感器;晶圆测试传感器—晶圆测温系统、无线多物理量晶圆传感器、腔体清洁晶圆等。产品应用于光刻、干刻、薄膜、测试、封测等制程。
资质:
国家高新技术企业(2025年拟申请*专精特新小巨人企业)
科技部攻关项目承担单位;上海市科委两项研发项目承担单位
上海市揭榜挂帅项目承担单位;2024年申请经信委“高质量”项目
上海市科技小巨人(培育)企业,浦东新区区级企业研发中心。
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